目前電感耦合等離子體發射光譜儀主要用于微量元素的分析，可分析的元素為大多數金屬以及硅、磷、硫等少量非金屬，廣泛應用于質量控制的元素分析。它不僅可以對超微量元素進行檢測，還可以對常量元素進行檢測，成為分析儀器領域越來越強有力的研究工具。
電感耦合等離子體發射光譜儀的優點：
1.分析速度快 一分鐘最快分析15個元素以上
2.精密度高 相對標準偏差RSD≤1.5%
3.穩定性好 相對標準偏差RSD≤2.0%
4.檢出限低 μg∕L
5.分析元素多 可對70多種元素進行定量分析
6..操作便捷 全新Windows運行環境功能齊全
目前電感耦合等離子體發射光譜儀的分析過程主要分三步，即激發、分光和檢測。其一，激發光源使試樣蒸發汽化，離解或分解為原子狀態，原子也可能進一步電離成離子狀態。原子及離子在光源中激發發光；其二，利用分光器把光源發射的光色散為按波長排列的光譜；其三，利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析。
